|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА С УПРАВЛЯЮЩИМ ЭЛЕКТРОДОМ НАНОМЕТРОВОЙ ДЛИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2237947 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/336 | | Аналоги изобретения: | US 6271094 В1, 07.08.2001. US 2002003272 А1, 10.01.2002. US 6465313 В1, 15.10.2002. ЕР 0019758 А1, 10.12.1980. RU 2191444 С1, 20.10.2002. |
| Имя заявителя: | Валиев Камиль Ахметович (RU),Орликовский Александр Александрович (RU),Кривоспицкий Анатолий Дмитриевич (RU),Окшин Алексей Александрович (RU) | | Изобретатели: | Валиев К.А. (RU)
Орликовский А.А. (RU)
Кривоспицкий А.Д. (RU)
Окшин А.А. (RU) | | Патентообладатели: | Валиев Камиль Ахметович (RU)
Орликовский Александр Александрович (RU)
Кривоспицкий Анатолий Дмитриевич (RU)
Окшин Алексей Александрович (RU) |
Реферат | |
Использование: в области микро- и наноэлектроники при производстве как полупроводниковых приборов и интегральных схем, так и приборов функциональной микроэлектроники. Сущность изобретения: способ изготовления полупроводникового прибора с управляющим электродом (затвором) нанометровой длины включает выделение на полупроводниковой подложке активной области прибора, формирование подзатворного диэлектрика, состоящего из первого и второго диэлектриков, нанесение вспомогательного слоя, содержащего трет
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента