|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ |  |
Номер публикации патента: 2318270 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/363 | | Аналоги изобретения: | SU 1424634 A1, 20.04.2000. SU 381300 A, 22.02.1974. US 3873828 A, 25.03.1975. JP 1046950 A, 21.02.1989. JP 56035487 A, 08.04.1981. JP 56033817 A, 04.04.1981. |
| Имя заявителя: | Томский политехнический университет-государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования (RU) | | Изобретатели: | Градобоев Александр Васильевич (RU)
Рубанов Павел Владимирович (RU)
Ащеулов Александр Васильевич (RU) | | Патентообладатели: | Томский политехнический университет-государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов на основе арсенида галлия. Изобретение обеспечивает снижение технологического брака и повышение эффективности производства приборов с заданными параметрами. Сущность изобретения: в способе изготовления приборов на основе арсенида галлия, включающем формирование контактов, фотолитографию, скрайбирование пластин на отдельные кристаллы и термокомпрессионную сборку в корпус, после
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента