|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОМПЕНСАЦИИ РАСТРАВА ВНЕШНИХ УГЛОВ ФИГУР ТРАВЛЕНИЯ НА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ С ОРИЕНТАЦИЕЙ ПОВЕРХНОСТИ (100) |  |
Номер публикации патента: 2331137 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/308 | | Аналоги изобретения: | RU 2220475 С1, 27.12.2003. US 6130010 А, 10.10.2000. US 6270685 В1, 07.08.2001. US 5286343 А, 15.02.1994. US 4286374 А, 01.09.1981. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) | | Изобретатели: | Рубчиц Вадим Григорьевич (RU)
Тимошенков Сергей Петрович (RU)
Чаплыгин Юрий Александрович (RU)
Калугин Виктор Владимирович (RU)
Шилов Валерий Федорович (RU)
Плеханов Вячеслав Евгеньевич (RU)
Зотов Сергей Александрович (RU)
Анчутин Степан Александрович (RU)
Максимов Владимир Николаевич (RU)
Балычев Владимир Николаевич (RU)
Морозова Елена Сергеевна (RU)
Лапенко Вадим Николаевич (RU)
Бритков Олег Михайлович (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники. Изобретение обеспечивает повышение точности и воспроизводимости конфигурации и размеров объемных фигур травления. Сущность изобретения: способ компенсации растрава внешних углов объемных фигур травления, формируемых в кремниевых пластинах с ориентацией поверхности (100) методом анизотропного химического травления, предусматривает формирование защитного слоя на обеих поверхностях кремниевой пластины, фор
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента