|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА |  |
Номер публикации патента: 2340038 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/265 | | Аналоги изобретения: | US 4975126 А, 04.12.1990. RU 2235388 С2, 10.05.2004. SU 1626996 А1, 10.11.1999. US 6204546 В1, 20.03.2001. US 5061642 А, 29.10.1991. WO 03/041160 А2, 15.05.2003. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (RU) | | Изобретатели: | Мустафаев Абдулла Гасанович (RU)
Мустафаев Гасан Абакарович (RU)
Мустафаев Арслан Гасанович (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (RU) |
Реферат | |
Использование: в технологии производства полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: при изготовлении полупроводникового прибора в кремниевой подложке формируют диоксид кремния имплантацией ионов кислорода с последовательным набором суммарной интегральной дозы 1,5·1018 см-2 в три этапа (0,5·1018+0,5·1018+0,5·1018), с энергией 150-200 кэВ, при температуре подложки 550-650°С, каждый этап включает отжиг при температуре 1150-1300°С в атмосфере аргона с добавлением
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента