|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СИНТЕЗА ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ |  |
Номер публикации патента: 2341847 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/26 | | Аналоги изобретения: | JP 2002289546 A, 04.10.2002. JP 2002184712 A, 29.06.2002. JP 2003092267 A, 28.03.2003. RU 2286616 C2, 27.10.2008. RU 2286616 C2, 27.10.2008. RU 2100870 C1, 27.12.1997. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" (RU) | | Изобретатели: | Иевлев Валентин Михайлович (RU)
Канныкин Сергей Владимирович (RU)
Кущев Сергей Борисович (RU)
Солдатенко Сергей Анатольевич (RU)
Федорова Елена Николаевна (RU)
Черников Николай Владимирович (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов и может быть использовано при создании полупроводниковых приборов. Способ синтеза пленок карбида кремния на кремниевой подложке включает нагрев кремниевой подложки в среде углеродосодержащих газов пакетами импульсов излучения ксеноновых ламп с диапазоном излучения 0,2-1,2 мкм, длительностью импульсов 10-2 с, в течение 1,5-2 с при плотности энергии излучения 240-260 Дж·см-2.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента