|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ, СОДЕРЖАЩЕГО КРЕМНИЕВУЮ ПОДЛОЖКУ С ПЛЕНКОЙ ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2352019 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/205 | | Аналоги изобретения: | RU 2286616 С2, 27.10.2006. RU 2100870 С1, 27.12.1997. US 6265326 В1, 24.07.2001. US 5021103 А, 04.06.1991. US 3520740 А, 14.07.1970. JP 10182284 А, 07.07.1998. |
| Имя заявителя: | Фонд поддержки науки и образования (RU),Общество с ограниченной ответственностью "Кристалл" (RU) | | Изобретатели: | Кукушкин Сергей Арсеньевич (RU)
Осипов Андрей Викторович (RU)
Феоктистов Николай Александрович (RU) | | Патентообладатели: | Фонд поддержки науки и образования (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Кристалл" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов и может быть использовано при создании полупроводниковых приборов. Техническим результатом изобретения является формирование пленки карбида кремния кубического политипа на поверхности кремниевой подложки, а также снижение внутренних напряжений, а следовательно, уменьшение поверхностной концентрации дефектов.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента