RU 2314595 C2, 10.01.2008. RU 2242823 С2, 20.12.2004. RU 2071646 C1, 10.01.1997. Гуськов Г.Я. и др. Монтаж микроэлектронной аппаратуры. - М.: Радио и связь, 1986, с.109-110.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") (RU)
Изобретатели:
Иовдальский Виктор Анатольевич (RU) Молдованов Юрий Исаевич (RU) Коцюба Александр Михайлович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронной технике. Техническим результатом изобретения является улучшение электрических характеристик, снижение трудоемкости изготовления и повышение надежности гибридной интегральной схемы. Сущность изобретения: способ изготовления гибридной интегральной схемы СВЧ-диапазона включает изготовление на лицевой стороне диэлектрической подложки топологического рисунка металлизации пленочных проводников и, по крайней мере, одной посадочной площадки для расположения, по крайней мере, одного кристалла навесного компонента, изготовление на одной стороне пленочного полимерного носителя рисунка плоских пленочных соединительных внутрисхемных проводников, содержащего, по меньшей мере, одну группу для подключения активного полупроводникового прибора, изготовление отверстий в полимерном носителе, соединение внутренних концов пленочных соединительных внутрисхемных проводников с контактными площадками, по меньшей мере, одного кристалла активного навесного компонента - полупроводникового прибора, закрепление кристаллов активных компонентов на посадочных площадках, присоединение внешних концов группы пленочных соединительных внутрисхемных проводников к пленочным проводникам топологического рисунка, закрепление кристаллов пассивных компонентов, изготовление на полимерном носителе пленочных соединительных внутрисхемных проводников для выполнения всех соединений. Концы проводников соединяют с топологическим рисунком непосредственно или посредством пассивных компонентов, затем удаляют пленочный носитель. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.