Рубин и сапфир. «Наука», 1974, стр.104-106, 200-218. SU 1686045 A1, 23.10.1991. SU 1649859 A1, 23.04.1993. UA 81385 C2, 25.12.2008. JP 2004231445 A, 19.08.2004. JP 2002201096 A, 16.07.2002. JP 2006062931 A, 09.03.2006.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Нанометр" (RU)
Изобретатели:
Раевский Владимир Леонидович (RU) Севастьянов Борис Константинович (RU) Дерябин Александр Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Нанометр" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области производства подложек из лейкосапфира для гетероэпитаксии нитридов III группы. Изобретение обеспечивает получение пластин лейкосапфира с содержанием в них активных примесей на уровне 0,005÷0,01% и получению из них подложек, стойких к воздействию отжига на воздухе при температурах 1000÷1400°С в течение 2 часов и ультрафиолетового облучения в течение 1 часа при комнатной температуре. В способе термической обработки пластин сапфира прошедшие шлифовку и отмывку пластины лейкосапфира размещают в углублениях графитовых ячеек-стаканов и покрывают поверхность пластин графитовым порошком, заполняя ячейку до ее верхнего уровня, ячейки с пластинами лейкосапфира размещают внутри графитового контейнера, устанавливая их вертикально одна на другую, контейнер заполняют графитовым порошком до его верхнего уровня и закрывают графитовой крышкой, контейнер размещают внутри камеры вакуумной печи отжига, в камере создают вакуум не хуже 5·10-4 мм рт.ст., проводят разогрев контейнера с пластинами лейкосапфира до температуры отжига 1400÷1500°С со скоростью подъема температуры не более 30 градусов в минуту при продолжающейся откачке камеры вакуумными насосами, проводят вакуумный отжиг в течение 2÷4 час, проводят охлаждение контейнера с пластинами лейкосапфира со скоростью, не более 2 градусов в минуту до комнатной температуры, извлекают пластины лейкосапфира из ячеек и изготавливают из них подложки по известным технологиям. 4 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента