US 6404313 В2, 11.01.2002. RU 2207658 C2, 27.06.2003. RU 2006141110 A, 27.05.2008. US 2010/0096714 A1, 22.04.2010. EP 2202526 A2, 30.06.2010. EP 2075222 A1, 01.07.2009. WO 00/76911 A1, 21.12.2000. JP 2010156577 A, 15.07.2010.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Алексеев Николай Васильевич (RU) Виноградов Анатолий Иванович (RU) Зарянкин Николай Михайлович (RU) Тимошенков Сергей Петрович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии изготовления чувствительных элементов микроэлектромеханических систем. Сущность изобретения: способ изготовления чувствительных элементов микроэлектромеханических систем (МЭМС) включает нанесение защитных покрытий на лицевую и обратную сторону пластины, фотолитографию по защитным слоям с лицевой и обратной стороны, глубокое высокопрецизионное травление кремния с лицевой и обратной стороны пластины на заданную глубину и с заданным профилем, удаление остатков маскирующих покрытий с лицевой и обратной стороны пластины. На кремниевую пластину после травления канавок с лицевой стороны и удаления остатков защитного покрытия производится операция нанесения слоя диоксида кремния для защиты лицевой стороны пластины и профиля вытравленных канавок от растрава при последующем травлении с обратной стороны пластины и механической фиксации выпадающих фрагментов конструкции. Технический результат изобретения заключается в уменьшении затрат на изготовление элементов МЭМС по сравнению с использованием сращенных пластин и уменьшение количества технологических операций при изготовлении МЭМС и, как следствие, увеличение выхода годных элементов. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента