RU 2324159 C1, 10.05.2008. RU 2258914 C2, 20.08.2005. RU 2327252 C1, 20.06.2008. US 6860154 B2, 01.03.2005. US 7252007 B2, 07.08.2007. US 2008/061799 A1, 13.03.2008.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) (RU)
Изобретатели:
Березин Сергей Валерьевич (RU) Хорев Максим Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии изготовления упругих элементов микроэлектромеханических измерительных систем. Сущность изобретения: в способе изготовления чувствительного элемента датчика давления жидких и газообразных сред, заключающемся в нанесении на стеклянную подложку фиксированного электрода, выполнении подвижного электрода и их соединении, наносят метки совмещения на стеклянную подложку и подвижный электрод, выполненный в виде кремниевой пластины ориентации (100), на которой формируют рельефы различной глубины двухэтапным анизотропным травлением кремния через маску из нитрида кремния одновременно с обеих сторон пластины, соединение элементов осуществляют методом анодного сращивания. Анизотропное травление можно проводить водным раствором KОН с концентрацией 33% при температуре 92±2°С. 1 з.п. ф-лы.
Поиск патентов
Получить полное описание патента