|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 880178 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/285 | | Аналоги изобретения: | Плешивцев Н.В. Катодное распыление. - М.: Атомиздат", 1968, с. 336. Гришин С.Д., Козлов Н.П. Применение плазменных ускорителей в технике. В сб. Плазменные ускорители. /Под общей ред. Л.А. Арцимовича и др. М., Машиностроение, 1973. с. 244. |
| Имя заявителя: | Институт электроники АН БССР | | Изобретатели: | Кривоношенко В.И.
Селифанов О.В.
Точицкий Э. |
Реферат | |
1. Способ получения покрытий, включающий испарение материала, формирование направленного к подложке потока осаждаемого материала и осаждение его на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии, на осажденное покрытие воздействуют импульсным магнитным полем непосредственно или через промежуточную среду, обладающую высокой электропроводностью. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что на осажденное покрытие воздействуют импульсным магнитным полем амплитудой 20-28 кЭ и длительностью 120-130 мкс.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента