|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 94027654 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94027654 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Валиев К.А. |
Реферат | |
Предлагается способ изготовления как дискретных приборов так и интегральных схем, формируемых в полупроводниковой подложке, которая затем утоняется с помощью химического травления. Равномерность травления обеспечивается за счет формирования с обратной стороны пластины геттерирующего слоя и последующего геттерирующего отжига, которые позволяют уменьшить и упорядочить концентрацию микродефектов в объеме пластины. Подготовка к сборочным операциям включает в себя создание планарной поверхности с обратной стороны.
|
Поиск патентов