|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ ХАЛЬКОГЕНАМИ |  |
Номер публикации патента: 94031613 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94031613 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников СО РАН | | Изобретатели: | Зайцев Б.А.
Мясников А.М.
Таскин А.А.
Тишковский Е.Г.
Чистохин |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к процессу легирования кремния халькогенами, и может быть использовано при изготовлении термодатчиков, фотоприемников. Способ легирования кремния халькогенами включает в себя ионное легирование, отжиг и диффузионную разгонку примеси при температуре 600°С-1350°С и последующую закалку. Закалку проводят посредством импульсного отжига в течение от 80 мс до 10 с с удельной мощностью от 50 Вт/см2 до 1 кВт/см2. Способ позволяет повысить концентрацию примеси в кремнии, снижает ее комплексообразование и устраняет искривление пластин.
|
Поиск патентов