На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
СПОСОБ ОПТИМИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК НА ПОДЛОЖКИ | |
Номер публикации патента: 95104432 | |
Вид документа: | A1 | Страна публикации: | RU | Рег. номер заявки: | 95104432 |
|
|
|
Имя заявителя: | Лупачева А.Н. | Изобретатели: | Лупачева А.Н. Громадин А.Л. Дроздов Ю. |
Реферат | |
Изобретение относится к получению пленок на подложках, конкретнее к способам осаждения из газовой фазы, особенно к плазмохимическим методам осаждения, полупроводниковых, диэлектрических или проводящих пленок, различной кристаллической структуры - моно-, поли-, микрокристаллических или аморфных пленок, и может быть использовано для оптимизации параметров технологического процесса. Техническим результатом изобретения является ускорение процесса оптимизации технологических режимов получения пленок на подложках. Способ позволяет при ограниченном числе экспериментов в многомерном пространстве внешних регулируемых технологических параметров определить область параметров, обеспечивающую высокую скорость осаждения и оптимальные заданные параметры пленки с высокой однородностью по площади подложкодержателя. Сущность изобретения: в процессе газофазного осаждения пленок на подложки в газовую фазу вводят по крайней мере одну газообразную примесь-индикатор и периодически или ступенеобразно изменяют ее концентрацию при синхронном изменении одного из оптимизируемых технологических параметров процесса осаждения.
|