|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОУРОВНЕВОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 95109398 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95109398 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Омский научно-исследовательский институт приборостроения | | Изобретатели: | Корж И.А. |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных интегральных микросхем и микросборок. Задача изобретения - расширение области применения способа изготовления, основанного на нанесении и формировании заданной конфигурации на поверхности подложек, содержащих в своем составе двуокись кремния, первого и второго уровней металлизации, межуровневой изоляции на основе диэлектрических пленок, содержащих в своем составе двуокись кремния, за счет нанесения под диэлектрическую пленку подслоя моноалюмината неодима, толщиной 0,4-0,8 мкм. Это позволяет избежать расстравливания поверхности подложек в растворах плавиковой кислоты, что дает возможность нанесения на подложку тонкопленочных резисторов с контролируемым поверхностным сопротивлением.
|
Поиск патентов