|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 952051 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | SU | | Рег. номер заявки: | 3232843 |
|
|
|
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/82 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 51-42915, кл. 99/5/ B 12, 1976. Патент Японии N 50-26077, кл. 99/5/03, 1975. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Ишков Г.И.
Кокин В.Н.
Лукасевич М.И.
Манжа Н.М.
Сулимин |
Реферат | |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий операции окисления, формирования скрытых слоев, наращивания эпитаксиальной пленки, диэлектрических слоев, создания изолирующих и базовых областей транзисторных структур, вытравливания в диэлектрике эмиттерных и коллекторных окон, наращивания легированной пленки кремния, термического отжига для перераспределения примеси, обтравливания легированной пленки кремния, металлизацию, отличающийся тем, что, с целью увеличения процента выхода годных интегральных схем и повышения их надежности, после создания базовых областей формируют дополнительное маскирующее покрытие, устойчивое к травителю для пленки кремния, а обтравливание легированной пленки кремния осуществляют при формировании металлизации.
|
Поиск патентов