|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕЖЭЛЕМЕНТНЫХ СОЕДИНЕНИЙ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 1799203 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L023/48 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1329505, кл. H 01 L 23/48, 1987. Заявка Японии N 63-133651, кл. H 01 L 21/30, 1988. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Интеграл" | | Изобретатели: | Турцевич А.С.
Красницкий В.Я.
Довнар Н.А.
Буляк Б.Н.
Химко Г.А.
Кастрицкий |
Реферат | |
Назначение: микроэлектроника. Сущность изобретения: при вскрытии окон к контактным площадкам и областям для разделения пластин размеры окон выбирают такими, чтобы верхний пассивирующий слой нитрида кремния перекрывал нижний пассивирующий слой фосфоросиликатного стекла на 0,2 - 5 мкм. 1 з.п. ф-лы. 1 ил., 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента