Предложено устройство обнаружения, предназначенное для обнаружения излучения, содержащее: подложку; переключающий элемент, расположенный поверх подложки и включающий в себя множество электродов; проводящую шину, расположенную поверх подложки и электрически соединенную с первым электродом из множества электродов переключающего элемента; и преобразующий элемент, включающий в себя полупроводниковый слой, расположенный поверх переключающего элемента и проводящей шины и расположенный между двумя электродами, причем один электрод из двух электродов электрически соединен со вторым электродом из множества электродов переключающего элемента. Упомянутый один электрод преобразующего элемента расположен поверх переключающего элемента и проводящей шины через промежуток, образованный между упомянутым одним электродом и первым электродом переключающего элемента, или между упомянутым одним электродом и проводящей шиной, при этом промежуток сформирован путем удаления пленки, покрывающей проводящую шину и переключающий элемент. Также предложены система обнаружения, содержащая описанное выше устройство обнаружения и способ изготовления устройства обнаружения. Изобретение обеспечивает снижение паразитных емкостей между преобразующими элементами и переключающими элементами или проводящими шинами. 3 н. и 7 з.п. ф-лы, 10 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента