На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА ДАТЧИКА МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Номер публикации патента: 95103207

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95103207

Реферат

Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, используемых в измерительной технике, электронных систем безопасности транспортных средств, а также навигационных систем и средств обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральная схема датчика микроперемещений содержит чувствительный элемент, выполненный в виде консоли с сейсмическими массами, на верхней поверхности которой размещена подвижная обкладка конденсатора переменной емкости, неподвижная обкладка которого сформирована на поверхности второго полупроводникового кристалла, смонтированного на поверхности основного кристалла. На второй поверхности сейсмической массы сформирован слой магнитного материала, который воздействует на электрические структуры первичного преобразователя типа индукции магнитного поля - электрический сигнал, сформированные в объеме материала второго дополнительного полупроводникового кристалла, смонтированного на второй стороне основного кристалла. Такая конструкция позволяет определять величины микроперемещений в двух взаимоперпендикулярных плоскостях.

Вернуться к списку