|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА АКСЕЛЕРОМЕТРА |  |
Номер публикации патента: 95103212 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95103212 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Соколов А.Г. | | Изобретатели: | Соколов А.Г.
Кремлев В.Я.
Баринов К.И.
Рапидов М |
Реферат | |
Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, электронных систем безопасности транспортных средств, а также навигационных систем и средств обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральная схема акселерометра содержит чувствительный элемент, выполненный в виде консоли в объеме материала полупроводниковой подложки с сейсмическими массами, на поверхности которой размещена подвижная обкладка измерительного конденсатора, неподвижная обкладка которого размещена в углублении второй полупроводниковой подложки, составляющей с первой конструктивно единое целое. Активные элементы электрической схемы сформированы в объеме материала дополнительной подложки.
|
Поиск патентов