На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА АКСЕЛЕРОМЕТРА

Номер публикации патента: 95103356

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95103356

Реферат

Назначение: изобретение относится к производству интегральных схем датчиков микроперемещений и может широко использоваться при изготовлении измерительной техники, а также в навигационных системах движущихся объектов и электронных систем безопасности транспортных средств. Сущность изобретения: интегральная схема акселерометра содержит чувствительный элемент, выполненный в виде консоли с сейсмическими массами, на рабочих поверхностях которых размещены подвижные обкладки конденсаторов переменной емкости. Неподвижные обкладки конденсаторов размещены на поверхностях дополнительных полупроводниковых кристаллов, смонтированных на обеих рабочих поверхностях полупроводникового кристалла, в объеме материала которого сформирован чувствительный элемент. Схема позволяет определить величину микроперемещений в двух поверхностях.

Вернуться к списку