На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА ДАТЧИКА МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ | |
Номер публикации патента: 95103388 | |
Вид документа: | A1 | Страна публикации: | RU | Рег. номер заявки: | 95103388 |
|
|
|
Имя заявителя: | Соколов А.Г. | Изобретатели: | Соколов А.Г. Кремлев В.Я. Баринов К.И. Рапидов М |
Реферат | |
Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, электронных систем безопасности транспортных средств, а также навигационных систем и средств обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральный датчик микроперемещений представляет собой чувствительный элемент, выполненный в виде консоли в объеме материала полупроводниковой подложки с сейсмическими массами и дополнительную полупроводниковую подложку, в объеме материала которой сформированы фоточувствительные элементы, которые размещены вдоль направления перемещения чувствительного элемента.
|