|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ПРИБОРОВ С ЗАРЯДОВОЙ СВЯЗЬЮ |  |
Номер публикации патента: 2095889 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L031/18 | | Аналоги изобретения: | 1. J. Electrochem. Soc. - V.135, N 7, р.1797 - 1801. 2. Технология СБИС / Под ред. С.Зи. - М.: Мир, 1986, кн.2, с.185 - 187. |
| Имя заявителя: | 46-й Центральный научно-исследовательский институт Министерства обороны РФ | | Изобретатели: | Хитрова Л.Н.
Евстафьев В.Ф. | | Патентообладатели: | 46-й Центральный научно-исследовательский институт Министерства обороны РФ |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к электротехнике, в частности к технологии изготовления фоточувствительных приборов с зарядовой связью. Сущность изобретения: кремниевые пластины со сформированными на них фоточувствительными приборами с зарядовой связью, содержащие менее 50% забракованных при контроле на функционирование приборов, подвергают отжигу в газовой смеси водорода и инертного газа с содержанием водорода 30-80 об.% при температуре 400 - 450oC в течение 10 - 16 ч, охлаждают в инертном газе и повторяют контроль на функционирование. Указанная обработка восстанавливает работоспособность фоточувствительных приборов с зарядовой связью и увеличивает процент выхода годных приборов в 1,5 - 2 раза за счет повышения эффективности переноса заряда в регистре. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента