Спивак A.M. Формирование многослойных фотоприемных структур ультрафиолетового диапазона на основе тонких пленок нитрида алюминия. - Вакуумная техника и технология, 2008, т.18, 1, с.13-15. RU 2155418 C1, 27.08.2000. US 2008087914 A1, 17.04.2008. US 7470940 B2, 30.12.2008. ЕР 1263057 А1, 04.12.2002. ЕР 1160882 А2, 05.12.2001.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" CПбГЭТУ (RU)
Изобретатели:
Спивак Андрей Михайлович (RU) Сазанов Александр Петрович (RU) Афанасьев Валентин Петрович (RU) Афанасьев Петр Валентинович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" CПбГЭТУ (RU)
Реферат
Изобретения относятся к микроэлектронике и могут быть использованы в технологии конструирования полупроводниковых датчиков (ППД) ультрафиолетового излучения (УФИ). ППД УФИ содержит подложку, на которой последовательно расположены монтажный слой, выполненный из TiN, и фоточувствительный слой AlN, и электродную систему, включающую платиновый полупрозрачный в С-области УФИ выпрямляющий электрод, соединенный со слоем AlN с образованием контакта Шотки, первый и второй выводы для присоединения к внешней измерительной цепи, причем первый вывод связан с монтажным слоем, а второй - с выпрямляющим электродом. Способ изготовления ППД УФИ предусматривает последовательное нанесение на подложку монтажного слоя TiN и фоточувствительного слоя AlN реактивным магнетронным распылением на общей технологической установке в азотсодержащей газовой среде с последующим формированием полупрозрачного в С-области УФИ платинового выпрямляющего электрода, соединенного с фоточувствительным слоем AlN с образованием контакта Шотки, и выводов для подключения выпрямляющего электрода и монтажного слоя к внешней измерительной цепи. Операции нанесения монтажного и фоточувствительного слоев производят непрерывно, не допуская остывания подложки, а платиновый выпрямляющий электрод формируют трехэлектродным ионно-плазменным распылением платиновой мишени при давлении 0,5÷0,6 Па в течение 4÷6 минут, потенциале мишени 0,45÷0,55 кВ и анодном токе 0,8÷1,2 А. Чувствительность целевого изделия составляет 65÷72 мА/Вт. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности целевого изделия. 2 н.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента