|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СОЗДАНИЯ КОНФИГУРАЦИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ СВЕРХПРОВОДНИКОВ |  |
Номер публикации патента: 2070351 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L039/22 | | Аналоги изобретения: | Physica C.- 1988, v.153 - 155, p.1586 - 1591. Appl. Phys. Zett.- 1989, v. 54, N14, p.1638 - 1370. |
| Имя заявителя: | Минский радиотехнический институт (BY) | | Изобретатели: | Лыньков Леонид Михайлович[BY]
Карелин Юрий Кириллович[BY]
Глудкин Олег Павлович[RU]
Гуров Александр Иванович[RU]
Захаров Владимир Иванович[BY] | | Патентообладатели: | Минский радиотехнический институт (BY) |
Реферат | |
Изобретение относится к области сверхпроводниковой микроэлектроники, в частности к технологии изготовления тонкопленочных сверхпроводящих структур. Сущность изобретения: на подложку осаждают слой тугоплавкого металла, формируют фоторезистивную маску, создают буферный слой оксида анодированием слоя тугоплавкого металла и последующего низкотемпературного отжига в инертной среде, осаждают тонкую пленку высокотемпературного сверхпроводника, проводят высокотемпературный отжиг в атмосфере кислорода, в
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента