|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УЗКОПОЛОСНЫЙ ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР НА ФТОРИДЕ КРИПТОНА (KrF) ДЛЯ ПРОМЫШЛЕННОГО ПРИМЕНЕНИЯ, ИМЕЮЩИЙ ВЫСОКУЮ НАДЕЖНОСТЬ И МОДУЛЬНУЮ КОНСТРУКЦИЮ |  |
Номер публикации патента: 2197045 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01S003/225 | | Аналоги изобретения: | RU 2032259 С1, 27.03.1995. US 5377215, 27.12.1994. US 5029177, 02.07.1991. JP 2093331, 04.04.1990. |
| Имя заявителя: | САЙМЕР, ИНК. (US) | | Изобретатели: | НОУЛЕС Дэвид С. (US)
АЗЗОЛА Джеймс Х. (US)
БЕСОЭЛЬ Херв А. (US)
ДАС Палаш П. (US)
ЕРШОВ Александр И. (US)
ЮХАШ Тибор (US)
НЕСС Ричард М. (US)
ОЗАРСКИ Роберт Г. (US)
ПАРТЛО Вилльям Н. (US)
РОТВЕЙЛ Дэниел А. (US)
СЭНДСТРОМ Ричард Л. (US)
УЖАЗДОВСКИ Ричард К. (US)
ВАТСОН Том А. (US)
ФОМЕНКОВ Игорь В. (US) | | Патентообладатели: | САЙМЕР
ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к лазерной технике, а именно - к лазерам, используемым для долговременной круглосуточной работы при производстве интегральных микросхем способом литографии. Усовершенствования заключаются в наличии в нем одиночной трубки устройства предварительной ионизации, расположенной на входе.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента