|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БЕЗЫСКРОВОГО РАЗРЯДА В ПЛОТНЫХ ГАЗАХ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) |  |
Номер публикации патента: 2297071 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J033/02 H01S003/0977 | | Аналоги изобретения: | RU 2007802 C1, 15.02.1994. SU 1816178 A1, 27.02.1996. RU 2212083 C1, 10.09.2003. DE 3914918 А, 08.11.1990. GB 2234109 А, 23.01.1991. US 4317067 А, 23.02.1982. |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) | | Изобретатели: | Сорокин Александр Разумникович (RU)
Шалыгина Надежда Алексеевна (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к квантовой электронике, спектроскопии, плазмохимии. Способ получения безыскрового разряда в плотных газах заключается в зажигании основного разряда между первым и вторым электродами путем подачи высоковольтного импульса минусом на первый электрод и плюсом на второй электрод, при этом предыонизацию газа осуществляют с помощью пучка низкоэнергитичных электронов, фотонов и электронов плазмы, которые получают непосредственно в самом объеме основного разряда, причем пучок низкоэ
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента