На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ АТ - СРЕЗА

Номер публикации патента: 2117382

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95109399		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления тонких кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных пьезоэлектрических приборов, например, кварцевых резонаторов и монолитных фильтров. Задачей предлагаемого технического решения является повышение производительности и выхода годных кварцевых кристаллических элементов с высоким качеством поверхности. Поставленная задача решается тем, что в способе изготовления кварцевых кристаллических элементов АТ-среза, включающем механическую обработку заготовок из кварца и их химико-динамическое травление в кислотном растворе с поверхностно-активными добавками диметилформамида или бутанола, проводимое при 348-373 K в два этапа. На первом этапе химико-динамическое травление осуществляют в кислотном растворе с добавкой бутанола и получают заготовку с шероховатостью поверхности, равной или большей 0,04 мкм. На втором этапе химико-динамическое травление осуществляют с добавкой диметилформамида и получают шероховатость поверхности КЭ не более 0,02 мкм. При этом величину шероховатости в обоих вариантах измеряют по "штрихам" травления вдоль линии, составляющей угол 30^o относительно кристаллографической оси X в кварце. Динамическое сопротивление резонаторов, изготовленных с применением заявленного способа, меньше в среднем на 30%, чем для прототипа. Кроме того, выход годных резонаторов с добротностью 15·10³ и выше, полученных новым способом, достигает 75%, по сравнению с 60%, указанными в прототипе. 1 табл., 3 ил.

Вернуться к списку