|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| Способ изготовления пьезоэлектрических пластин и устройство для его осуществления |  |
Номер публикации патента: 2001503 |  |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт "ФОНОН" | | Изобретатели: | Кузнецов Михаил Владимирович
Барейша Анатолий Алексеевич | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт "ФОНОН" |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, в частности к вакуумной технологии и может быть использовано при изготовлении пьезоэлектрических пластин ионным травлением Способ изготовления пьезоэлектрических пластин включает установку пьезоэлектрических пластин на вращающуюся вокруг своей оси мишень, на которой установлены вращающиеся вокруг своих осей подложкодержатепи.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента