RU 2017350 С, 30.07.1994. SU 514454 A1, 15.05.1976. GB 908667 A, 24.10.1962. GB 900517 A, 04.07.1962. FR 2559886 A1, 23.08.1985.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Кавказский технический университет" (RU)
Изобретатели:
Синельников Борис Михайлович (RU) Лопатин Алексей Александрович (RU) Шипилов Владимир Михайлович (RU) Никульников Алексей Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Кавказский технический университет" (RU)
Реферат
Изобретение относится к резистивным нагревателям и может быть использовано для выращивания монокристаллов карбида кремния. Утолщенная верхняя крепежная часть (1) предназначена для соединения сегментов нагревателя с тоководами. Тепловыделяющая средняя часть (ТСЧ) (2) разделена тупиковыми прорезями (ТП) (3). Утолщенный нижний кольцевой элемент (УНКЭ) (4) соединяет три сегмента нагревателя по схеме звезда. Между верхней кромкой (5) УНКЭ и внешней поверхностью (6) стенки ТСЧ (2) выполнен уклон (7) под углом , равным 55°-63°. Площадь поперечного сечения одного сегмента (8) ТСЧ (2), разделенной ТП (3), равна половине площади продольного разреза УНКЭ (4). Лучше, когда толщина стенки УНКЭ (4) больше толщины стенки ТСЧ (2) не менее чем в 1,4 раза. Изобретение решает задачи упрощения изготовления и увеличения срока службы. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.