На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ЗАЖИГАНИЯ СВД - ПЛАЗМЫ (ВАРИАНТЫ) | |
Номер публикации патента: 2082283 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H05B007/18 H05H001/24 | Аналоги изобретения: | 1. У.ОРТ.СОММ, 8/1987, с.122. 2. Патент США N 4888088, кл. С 23 С 8/36, 1984. 3. Заявка ФРГ N 3322341, кл. С 23 С 8/36, 1987. |
Имя заявителя: | Шотт Глазверке (DE) | Изобретатели: | Харальд Крюммель[DE] Эвальд Мерзен[DE] Фолькер Паке[DE] Хельге Фогт[DE] Гюнтер Вайдманн[DE] | Патентообладатели: | Шотт Глазверке (DE) | Номер конвенционной заявки: | P 4122452.3 | Страна приоритета: | DE |
Реферат | |
Существо изобретения: в реакционной камере плазму зажигают на выходе газа из реакционной камеры посредством по меньшей мере, кратковременно приложенного высокого напряжения. Это позволяет повысить качество покрытия. Используются импульсы высокого напряжения или низкочастотные высокоамплитудные напряжения с частотами в диапазоне 10-100 кГц. Высокое напряжение синхронизируется с микроволновыми импульсами. В другом варианте способа микроволновые импульсы по меньшей мере в их начале кратковременно превышаются. Возможны также периодические превышения микроволновых импульсов. 2 с. и 9, з.п.ф-лы, 7 ил.
|