|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2208920 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05K003/26 | | Аналоги изобретения: | Операционная карта технологического процесса ЕТО. 035.088. ТК1, 1984, Москва. RU 2133559 С1, 20.07.1999. SU 704972 А, 25.12.1979. US 4683652 А, 04.08.1987. US 4001466 А, 04.01.1977. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" | | Изобретатели: | Никитин С.А. | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной промышленности, в частности к способам получения фотошаблонных заготовок (ФШЗ), одного из основных материалов микроэлектроники. Сущность способа заключается в использовании на стадии подготовки стеклянных пластин водных растворов органических кислот общей формулы где R1 - Н, ОН; R2 - Н, СН3, СН2СООН; R3 - Н, СН2СООН, в определенной последовательности, начиная с кислоты с рКа=3,12-3,13 с увеличением этого показателя с градиентом рКа=0,7-1,05 при температуре 50-
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента