|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2292679 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05K003/26 | | Аналоги изобретения: | RU 2208920 C1, 20.07.2003. SU 1306402 A1, 26.07.1985. RU 2206115 C1, 10.06.2003. RU 938338 А, 23.06.1982. RU 1473271 С, 15.05.1994. US 5863838 А, 26.01.1999. ЕР 0936268 А, 18.08.1999. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | | Изобретатели: | Никитин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Изобретения относится к микроэлектронике, в частности к способу получения фотошаблонных заготовок. Способ включает подготовку поверхности маскирующего слоя окиси железа в щелочном окислительном составе, содержащем гипохлориты, при поддержании их постоянной концентрации, что позволяет проводить процесс подготовки поверхности с подтравливанием приповерхностного слоя за счет образования атомарного кислорода в процессе разложения гипохлоритов к последующей операции нанесения резиста.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента