RU 2323553 C1, 27.04.2008. US 2003/0194485 A1, 16.10.2003. JP 2005123215 A, 12.05.2005. RU 2192715 C1, 10.11.2002.
Имя заявителя:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный университет (RU)
Изобретатели:
Маньшина Алина Анвяровна (RU) Поволоцкий Алексей Валерьевич (RU) Поволоцкая Анастасия Валерьевна (RU) Туник Сергей Павлович (RU) Кошевой Игорь Олегович (RU) Грунский Олег Сергеевич (RU) Курочкин Алексей Викторович (RU) Тверьянович Юрий Станиславович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный университет (RU)
Реферат
Изобретение относится к области электротехники, в частности к технологии локализованного нанесения металлических слоев или сложных структур на диэлектрические поверхности. Техническим результатом изобретения является повышение точности задаваемой ширины дорожек и управление составом металлического покрытия. Согласно изобретению способ лазерного нанесения металлических покрытий и проводников на диэлектрики заключается в помещении поверхности диэлектрика на поверхность раствора, фокусировании излучения лазера на границу раздела диэлектрик - раствор и сканировании лазерным излучением по поверхности диэлектрика, при этом в раствор вводят фотоактивные гетерометаллические металлоорганические комплексы в количестве 0,005-0,1 г на 10 г и с контролируемым отношением металлов в их составе, а сканирование по поверхности диэлектрика осуществляют гелий-кадмиевым лазером. 5 з.п. ф-лы, 3 ил., 3 пр.