|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕЛЬЕФА В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ |  |
Номер публикации патента: 94017322 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94017322 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Омский научно-исследовательский институт приборостроения | | Изобретатели: | Корж И.А. |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для получения рельефа в диэлектрических и пьезоэлектрических подложках при изготовлении волноводов, микромеханических приборов, кварцевых резонаторов и т. п. Способ получения рельефа в диэлектрической подложке включает нанесение на подложку диэлектрической пленки и формирование конфигурации защитной маски, травление подложки. В качестве материала маски используется диэлектрическая пленка моноалюмината неодима толщиной не менее 1 мкм.. После травления диэлектрической подложки диэлектрическая пленка не удаляется.
|
Поиск патентов