На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

КООРДИНАТНЫЙ СТОЛ

Номер публикации патента: 2029447

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  5022336		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: в машиностроении, в установках ионной, электронной, ренгеновской и фотолитографии, в конструкциях различных микроскопов, координантно-измерительных машин. Сущность изобретения: координантный стол снабжен гидростатическими направляющими цилиндрической формы, каждая из которых снабжена двумя гидростатическими опорами, расположенными на базовом расстоянии друг от друга, каждая из которых состоит из двух расположенных в вертикальной плоскости и двух расположенных в горизонтальной плоскости камер высокого давления. Каждая из камер высокого давления гидравлически соединена с насосной станцией через магнитореологический дроссель, причем вокруг каждой камеры высокого давления расположены камеры низкого давления. С целью повышения точности позиционирования, надежности и быстродействия гидростатические направляющие цилиндрической формы уплотнены герметизирующими элементами, выполненными в виде эластичных тонкостенных оболочек в форме тел вращения, установленных с возможностью перекатывания между гидростатической направляющей цилиндрической формы и соответствующей кареткой. Магнитореологические дроссели выполнены в виде индуктора магнитного поля. 7 з.п. ф-лы, 18 ил.

Вернуться к списку