На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ | |
Номер публикации патента: 2034362 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/00 H05K013/02 | Аналоги изобретения: | Патент США N 4776744, кл. B 65G 1/00. |
Имя заявителя: | Чикин Сергей Николаевич,Мухин Виктор Иванович | Изобретатели: | Чикин Сергей Николаевич Мухин Виктор Иванович | Патентообладатели: | Чикин Сергей Николаевич Мухин Виктор Иванович |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в устройствах обработки изделий электронной техники методом ионной имплантации, электронной обработки, магнетронного напыления и т. д. Сущность изобретения: в устройстве обработки изделий электронной техники, включающем механизм обработки, шлюзовую камеру с манипулятором транспортировки, и манипулятор перекладки изделий, имеющий схваты и привод их перемещения, манипулятор перекладки имеет плечи для одновременного
|